▣ 개발내용

 <목표>

300mm웨이퍼의 박막 조성 및 두께 모니터링을 위한 중에너지 이온산란분광기(MEIS) 개발

 <개발기간>

2020년 4월 ∼ 2022년 12월(33개월).

<연구개발 내용>

-  5자유도 매니퓰레이터 고정밀 제어시스템 개발

  * 매크로,마이크로 및 나노 스케일 경로 생성 기술

  * 로봇 매니퓰레이터 외란 보상 제어알고리즘

-5자유도 매니퓰레이터 기구 캘리브레이션 기술

  * 로봇의 말단의 이동거리를 이용한 캘리브레이션 방법 개발

-매니퓰레이터 구동을 위한 통신 연동 및 수요자 맞춤 UI제작

  * 로봇제어기 및 UI연동 통신 프로토콜 및 인터페이스 개발

  * MEIS측정/분석 및 사용자 편의성을 고려한 UI제작